BSLtech Semiconductor SOLUTION
Хагас дамжуулагчийн салбарт өөрийн туршлагаа хөгжүүлэхийн тулд ISO 5 буюу түүнээс дээш өндөр зэрэглэлийн цэвэр өрөө эсвэл ламинар урсгалтай шүүгээ шаардлагатай байдаг. Та хэт ягаан туяанд мэдрэмтгий процессуудтай тулгардаг уу? Тэгсэн ч гэсэн BSL нь зөв цэвэрлэх өрөөгөөр хангадаг. Цэвэрлэгээний өрөөнүүд нь өндөр чанартай ханын өнгөлгөөтэй, хэт ягаан туяаны шүүлтүүр бүхий гэрэлтүүлэгтэй. Шүүлтүүрийн системд антистатик (ESD) материал, антистатик баар ашигласнаар агаар дахь статик цэнэгийг саармагжуулдаг.
Хий тайлах шаардлагагүй үед BSL нь хий ялгаруулдаггүй материал (PU) бүхий цэвэр өрөөг санал болгодог. Энэхүү технологи нь сансрын салбараас гаралтай.
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн ердийн процессууд:
● Субстрат болон цахиур хавтангийн хамгаалалт
● EUV судалгаа
● Маск тэгшлэгч
● Вакуум бүрэх, нимгэн хальсан тунадас
● Хэвлэх програмууд
● Оптик
Урд ба хойд талын процессууд