Агааржуулалтын системийн хоёрдогч буцах агаарын схем

Харьцангуй жижиг цэвэр өрөөний талбайтай, буцах агаарын сувгийн хязгаарлагдмал радиус бүхий бичил электрон цех нь агааржуулалтын системийн хоёрдогч буцах агаарын схемийг ашиглахад ашиглагддаг. Энэ схемийг мөн ихэвчлэн ашигладагцэвэрхэн өрөөнүүдэм, эмнэлгийн тусламж зэрэг бусад салбаруудад. Өрөөний цэвэр температурын чийгшлийн шаардлагыг хангах агааржуулалтын эзэлхүүн нь цэвэр байдлын түвшинд хүрэхэд шаардагдах агааржуулалтын эзэлхүүнээс хамаагүй бага байдаг тул нийлүүлэх болон буцах агаарын хоорондох температурын зөрүү бага байдаг. Хэрэв буцах агаарын анхдагч схемийг ашиглавал агаарын хангамжийн төлөвийн цэг ба агааржуулагчийн шүүдэр цэгийн температурын зөрүү их байвал хоёрдогч халаалт шаардлагатай бөгөөд ингэснээр агаарыг боловсруулах явцад хүйтэн дулааныг нөхөж, илүү их эрчим хүч зарцуулна. . Хэрэв хоёрдогч буцах агаарын схемийг ашиглаж байгаа бол хоёрдогч буцах агаарыг анхдагч буцах агаарын схемийн хоёрдогч халаалтыг орлуулахад ашиглаж болно. Анхдагч ба хоёрдогч буцах агаарын харьцааг тохируулах нь хоёрдогч дулааныг тохируулахаас арай бага мэдрэмжтэй боловч хоёрдогч буцах агаарын схем нь жижиг, дунд оврын бичил электрон цэвэр цехүүдэд агааржуулалтын эрчим хүч хэмнэх арга хэмжээ гэж өргөнөөр хүлээн зөвшөөрөгдсөн. .

ISO 6-р ангиллын микроэлектроникийн цэвэр цехийг жишээ болгон авч үзье, 1000 м2 талбайтай, таазны өндөр нь 3 м. Интерьер дизайны параметрүүд нь температур tn= (23±1) ℃, харьцангуй чийгшил φn=50%±5%; Агаарын нийлүүлэлтийн тооцооны хэмжээ 171,000 м3/цаг, ойролцоогоор 57 цаг-1 агаар солилцох хугацаа, цэвэр агаарын эзэлхүүн нь 25 500 м3/ц (үүнээс процессын яндангийн агаарын хэмжээ 21 000 м3/цаг, үлдсэн хэсэг нь эерэг даралтын алдагдал агаарын эзэлхүүн). Цэвэр цехийн дулааны мэдрэмжтэй ачаалал 258 кВт (258 Вт/м2), агааржуулагчийн дулаан/чийгшлийн харьцаа ε=35 000 кЖ/кг, өрөөний буцах агаарын температурын зөрүү 4.5 ℃ байна. Энэ үед буцах агаарын анхдагч хэмжээ
Энэ нь одоогоор микроэлектроникийн үйлдвэрлэлийн цэвэр өрөөнд хамгийн түгээмэл хэрэглэгддэг агааржуулалтын системийг цэвэршүүлэх хэлбэр бөгөөд энэ төрлийн системийг үндсэндээ гурван төрөлд хувааж болно: AHU+FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (Хуурай ороомог) +FFU. Тус бүр өөрийн давуу болон сул талуудтай бөгөөд тохиромжтой газар байдаг бөгөөд эрчим хүч хэмнэх нөлөө нь шүүлтүүр, сэнс болон бусад тоног төхөөрөмжийн гүйцэтгэлээс ихээхэн хамаардаг.

1) AHU+FFU систем.

Энэ төрлийн системийн горимыг микроэлектроникийн салбарт "агааржуулагч ба цэвэршүүлэх үе шатыг салгах арга" болгон ашигладаг. Хоёр нөхцөл байдал байж болно: нэг нь агааржуулалтын систем нь зөвхөн цэвэр агаартай ажилладаг, цэвэршүүлсэн цэвэр агаар нь цэвэр өрөөний бүх дулаан, чийгшлийн ачааллыг дааж, яндангийн агаар, эерэг даралтын алдагдлыг тэнцвэржүүлэх нэмэлт агаарын үүрэг гүйцэтгэдэг. цэвэр өрөөний хувьд энэ системийг MAU+FFU систем гэж нэрлэдэг; Нөгөө нь цэвэр агаарын хэмжээ дангаараа цэвэр өрөөний хүйтэн, дулааны ачааллыг хангахад хүрэлцэхгүй, эсвэл цэвэр агаарыг гаднах төлөвөөс шүүдэр цэг хүртэл боловсруулж байгаа тул шаардлагатай машины энтальпийн хувийн зөрүү хэт их байна. , мөн доторх агаарын нэг хэсгийг (буцах агаартай тэнцэхүйц) агааржуулагч цэвэрлэх хэсэгт буцааж, дулаан, чийгшлийн боловсруулалтанд зориулж цэвэр агаартай хольж, дараа нь агаарын хангамжийн нэгдсэн хуралдаанд илгээнэ. Үлдсэн цэвэр өрөөний буцах агаартай холилдсон (хоёрдогч буцах агаартай тэнцэх) энэ нь FFU нэгжид орж, дараа нь цэвэр өрөөнд илгээдэг. 1992-1994 онд энэхүү нийтлэлийн хоёр дахь зохиогч нь Сингапурын нэгэн компанитай хамтран ажиллаж, 10 гаруй төгсөх ангийн оюутнуудыг АНУ-Хонконгийн хамтарсан SAE Electronics Factory-ийн дизайны ажилд оролцуулж, сүүлийн төрлийн агааржуулагч, агааржуулагчийг нэвтрүүлсэн. агааржуулалтын систем. Төсөл нь ойролцоогоор 6000 м2 талбай бүхий ISO 5-р ангиллын цэвэр өрөөтэй (үүнээс 1500 м2 талбайг Японы агаар мандлын агентлагтай гэрээ байгуулсан). Агааржуулагчийн өрөө нь гаднах хананы дагуу цэвэр өрөөний хажуу талтай зэрэгцээ, зөвхөн коридорын хажууд байрладаг. Цэвэр агаар, яндангийн агаар, буцах агаарын хоолой нь богино, жигд зохион байгуулалттай.

2) MAU+AHU+FFU схем.

Энэ шийдэл нь ихэвчлэн температур, чийгшлийн олон шаардлага, дулаан, чийгшлийн ачаалал ихтэй ялгаатай микроэлектроникийн үйлдвэрүүдэд байдаг бөгөөд цэвэр байдлын түвшин нь бас өндөр байдаг. Зуны улиралд цэвэр агаарыг тогтмол параметрийн цэг хүртэл хөргөж, чийгшүүлнэ. Ихэнхдээ цэвэр агаарыг изометрийн энтальпийн шугамын огтлолцох цэг ба харьцангуй чийгшилийн 95% -ийн температур, чийгшил бүхий цэвэр өрөөний эсвэл хамгийн их цэвэр агаарын эзэлхүүнтэй цэвэр өрөөнд цэвэрлэх нь тохиромжтой байдаг. ШУА-ийн агаарын эзэлхүүнийг цэвэр өрөө тус бүрийн агаарыг нөхөх хэрэгцээнд тохируулан тодорхойлж, шаардлагатай цэвэр агаарын эзэлхүүний дагуу хоолойгоор цэвэрхэн өрөө бүрийн AHU-д хуваарилж, дулааны зориулалтаар зарим дотоод буцах агаартай холино. болон чийгшлийн эмчилгээ. Энэхүү нэгж нь үйлчилж буй цэвэр өрөөний бүх дулаан, чийгшлийн ачааллыг, шинэ хэрэх өвчний нэг хэсгийг даана. AHU тус бүрээр цэвэршүүлсэн агаарыг цэвэр өрөө бүрийн нийлүүлэлтийн агаарын пленум руу илгээж, доторх буцах агаартай хоёрдогч холилдсоны дараа FFU нэгжээр өрөөнд илгээдэг.

MAU+AHU+FFU уусмалын гол давуу тал нь цэвэр ариун байдал, эерэг даралтыг хангахаас гадна цэвэр өрөөний процесс бүрийг үйлдвэрлэхэд шаардагдах өөр өөр температур, харьцангуй чийгшлийг баталгаажуулдаг. Гэсэн хэдий ч ихэвчлэн AHU-ийн тооноос шалтгаалан өрөөний талбайг эзэлдэг, цэвэр өрөөнд цэвэр агаар, буцах агаар, агаарын хангамжийн шугам хоолой хөндлөн огтлолцдог, том зай эзэлдэг, зохион байгуулалт нь илүү төвөгтэй, засвар үйлчилгээ, менежмент нь илүү төвөгтэй байдаг. болон нарийн төвөгтэй, тиймээс ашиглахаас зайлсхийхийн тулд аль болох тусгай шаардлага байхгүй.