Агааржуулалтын системийн хоёрдогч буцах агаарын схем

Харьцангуй жижиг цэвэр өрөөний талбайтай, буцах агаарын сувгийн хязгаарлагдмал радиус бүхий бичил электрон цех нь агааржуулалтын системийн хоёрдогч буцах агаарын схемийг ашиглахад ашиглагддаг. Энэ схемийг мөн ихэвчлэн ашигладагцэвэрхэн өрөөнүүдэм, эмнэлгийн тусламж зэрэг бусад салбаруудад. Өрөөний цэвэр температурын чийгшлийн шаардлагыг хангах агааржуулалтын эзэлхүүн нь цэвэр байдлын түвшинд хүрэхэд шаардагдах агааржуулалтын эзэлхүүнээс хамаагүй бага байдаг тул нийлүүлэх болон буцах агаарын хоорондох температурын зөрүү бага байдаг. Хэрэв буцах агаарын анхдагч схемийг хэрэглэвэл нийлүүлэлтийн агаарын төлөвийн цэг ба агааржуулагчийн шүүдэр цэгийн хоорондох температурын зөрүү их байгаа тул хоёрдогч халаалт шаардлагатай тул агаарыг боловсруулах явцад хүйтэн дулааныг нөхөж, илүү их эрчим хүч зарцуулна. Хэрэв хоёрдогч буцах агаарын схемийг ашиглаж байгаа бол хоёрдогч буцах агаарыг анхдагч буцах агаарын схемийн хоёрдогч халаалтыг орлуулахад ашиглаж болно. Анхдагч ба хоёрдогч буцах агаарын харьцааг тохируулах нь хоёрдогч дулааныг тохируулахаас арай бага мэдрэмжтэй боловч хоёрдогч буцах агаарын схем нь жижиг, дунд оврын бичил электрон цэвэр цехүүдэд агааржуулалтын эрчим хүч хэмнэх арга хэмжээ гэж өргөнөөр хүлээн зөвшөөрөгдсөн.

ISO 6-р ангиллын микроэлектроникийн цэвэр цехийг жишээ болгон авч үзье, 1000 м2 талбайтай, таазны өндөр нь 3 м. Интерьер дизайны параметрүүд нь температур tn= (23±1) ℃, харьцангуй чийгшил φn=50%±5%; Агаарын нийлүүлэлтийн тооцооны хэмжээ нь 171,000 м3/цаг, ойролцоогоор 57 цаг-1 агаар солилцох хугацаа, цэвэр агаарын эзэлхүүн нь 25 500 м3/ц (үүнээс процессын гадагшлуулах агаарын эзэлхүүн нь 21 000 м3/цаг, үлдсэн хэсэг нь эерэг даралтын алдагдалтай агаарын эзэлхүүн). Цэвэр цехийн дулааны мэдрэмжтэй ачаалал 258 кВт (258 Вт/м2), агааржуулагчийн дулаан/чийгшлийн харьцаа ε=35 000 кЖ/кг, өрөөний буцах агаарын температурын зөрүү 4.5 ℃ байна. Энэ үед буцах агаарын анхдагч хэмжээ
Энэ нь одоогоор микроэлектроникийн үйлдвэрлэлийн цэвэр өрөөнд хамгийн түгээмэл хэрэглэгддэг агааржуулалтын системийг цэвэршүүлэх хэлбэр бөгөөд энэ төрлийн системийг үндсэндээ гурван төрөлд хувааж болно: AHU+FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (хуурай ороомог) +FFU. Тус бүр өөрийн давуу болон сул талуудтай бөгөөд тохиромжтой газар байдаг бөгөөд эрчим хүч хэмнэх нөлөө нь шүүлтүүр, сэнс болон бусад тоног төхөөрөмжийн гүйцэтгэлээс ихээхэн хамаардаг.

1) AHU+FFU систем.

Энэ төрлийн системийн горимыг микроэлектроникийн салбарт "агааржуулагч ба цэвэршүүлэх үе шатыг салгах арга" болгон ашигладаг. Хоёр нөхцөл байдал байж болно: нэг нь агааржуулалтын систем нь зөвхөн цэвэр агаартай ажилладаг, цэвэршүүлсэн цэвэр агаар нь цэвэр өрөөний бүх дулаан, чийгшлийн ачааллыг дааж, яндангийн агаар болон цэвэр өрөөний эерэг даралтын алдагдлыг тэнцвэржүүлэх нэмэлт агаарын үүрэг гүйцэтгэдэг, энэ системийг мөн MAU+FFU систем гэж нэрлэдэг; Нөгөө нь цэвэр агаарын хэмжээ дангаар нь цэвэр өрөөний хүйтэн, дулааны ачааллыг хангахад хүрэлцэхгүй, эсвэл цэвэр агаарыг гаднах төлөвөөс шүүдэр цэг хүртэл боловсруулж, шаардлагатай машины энтальпийн хувийн зөрүү хэт их, доторх агаарын нэг хэсэг нь (буцах агаартай тэнцэх) агааржуулагчийн цэвэр агаартай холилдож, дулаан, чийгшүүлэх зорилгоор агааржуулагч цэвэрлэх төхөөрөмжид буцаж ирдэг. Үлдсэн цэвэр өрөөний буцах агаартай холилдсон (хоёрдогч буцах агаартай тэнцэх) энэ нь FFU нэгжид орж, дараа нь цэвэр өрөөнд илгээдэг. Энэхүү нийтлэлийн хоёр дахь зохиогч нь 1992-1994 онд Сингапурын нэгэн компанитай хамтран ажиллаж, сүүлийн төрлийн агааржуулагч, агааржуулалтын системийг нэвтрүүлсэн АНУ-Хонконгийн хамтарсан SAE Electronics Factory компанийн дизайны ажилд 10 гаруй аспирант оюутнуудыг удирдан чиглүүлсэн. Төсөл нь ойролцоогоор 6000 м2 талбай бүхий ISO 5-р ангиллын цэвэр өрөөтэй (үүнээс 1500 м2 талбайг Японы агаар мандлын агентлагтай гэрээ байгуулсан). Агааржуулагчийн өрөө нь гаднах хананы дагуу цэвэр өрөөний хажуу талтай зэрэгцээ, зөвхөн коридорын хажууд байрладаг. Цэвэр агаар, яндангийн агаар, буцах агаарын хоолой нь богино, жигд зохион байгуулалттай.

2) MAU+AHU+FFU схем.

Энэ шийдэл нь ихэвчлэн температур, чийгшлийн олон шаардлага, дулаан, чийгшлийн ачаалал ихтэй ялгаатай микроэлектроникийн үйлдвэрүүдэд байдаг бөгөөд цэвэр байдлын түвшин нь бас өндөр байдаг. Зуны улиралд цэвэр агаарыг тогтмол параметрийн цэг хүртэл хөргөж, чийгшүүлнэ. Ихэнхдээ цэвэр агаарыг изометрийн энтальпийн шугамын огтлолцох цэг ба харьцангуй чийгшилийн 95% -ийн температур, чийгшил бүхий цэвэр өрөөний эсвэл хамгийн их цэвэр агаарын эзэлхүүнтэй цэвэр өрөөнд цэвэрлэх нь тохиромжтой байдаг. ШУА-ийн агаарын эзэлхүүнийг цэвэр өрөө тус бүрийн агаарыг нөхөх хэрэгцээ шаардлагад нийцүүлэн тодорхойлж, шаардлагатай цэвэр агаарын эзэлхүүний дагуу хоолойгоор цэвэрхэн өрөө тус бүрийн AHU-д хуваарилж, дулаан чийгшүүлэх зорилгоор дотоод орчны буцах агаартай хольдог. Энэхүү нэгж нь үйлчилж буй цэвэр өрөөний бүх дулаан, чийгшлийн ачааллыг, шинэ хэрэх өвчний нэг хэсгийг даана. AHU тус бүрээр цэвэрлэсэн агаарыг цэвэр өрөө бүрийн нийлүүлэлтийн агаарын пленум руу илгээж, доторх буцах агаартай хоёрдогч холилдсоны дараа FFU нэгжээр өрөөнд илгээдэг.

MAU+AHU+FFU уусмалын гол давуу тал нь цэвэр ариун байдал, эерэг даралтыг хангахаас гадна цэвэр өрөөний процесс бүрийг үйлдвэрлэхэд шаардагдах өөр өөр температур, харьцангуй чийгшлийг баталгаажуулдаг. Гэсэн хэдий ч ихэвчлэн AHU-ийн тооноос шалтгаалан өрөөний талбай том, цэвэр өрөөнд цэвэр агаар, буцах агаар, агаарын хангамжийн шугам хоолой хөндлөн огтлолцдог, том зай эзэлдэг, зохион байгуулалт нь илүү төвөгтэй, засвар үйлчилгээ, менежмент нь илүү төвөгтэй, төвөгтэй байдаг тул ашиглахаас зайлсхийхийн тулд аль болох тусгай шаардлага тавьдаггүй.