Хагас дамжуулагч (FAB) цэвэр өрөөнд харьцангуй чийгшлийн зорилтот утга

Хагас дамжуулагч (FAB) цэвэр өрөөнд харьцангуй чийгшлийн зорилтот утга нь ойролцоогоор 30-50% байх ба литографийн бүс гэх мэт ±1%, эсвэл хэт ягаан туяаны боловсруулалтад (DUV) бага зэрэг алдаа гаргах боломжийг олгодог. бүс - бусад газар ±5% хүртэл сулрах боломжтой.
Учир нь харьцангуй чийгшил нь цэвэр өрөөнүүдийн ерөнхий гүйцэтгэлийг бууруулах олон хүчин зүйлтэй байдаг бөгөөд үүнд:
1. Бактерийн өсөлт;
2. Ажилтны өрөөний температурын тав тухтай байдлын хүрээ;
3. Цахилгаан статик цэнэг гарч ирнэ;
4. Металлын зэврэлт;
5. Усны уурын конденсаци;
6. Литографийн доройтол;
7. Ус шингээх чадвар.

Бактери болон бусад биологийн бохирдуулагчид (хөгц, вирус, мөөгөнцөр, хачиг) харьцангуй чийгшил 60% -иас дээш орчинд үрждэг. Зарим бактерийн бүлгэмдэл 30% -иас дээш харьцангуй чийгшилд ургадаг. Агаарын чийгшлийг 40% - 60% -ийн хооронд хянах шаардлагатай гэж тус компани үзэж байгаа бөгөөд энэ нь нян ба амьсгалын замын халдварын нөлөөг багасгах боломжтой юм.

Харьцангуй чийгшил нь 40% -иас 60% хүртэл байх нь хүний ​​тав тухыг хангах дунд зэрэг юм. Хэт их чийгшил нь хүнийг бүгчим болгодог бол 30%-иас доош чийгшил нь арьсыг хуурайшуулж, хагарч, амьсгалын замын ажилд таагүй мэдрэмж төрүүлж, сэтгэл санааны таагүй мэдрэмжийг төрүүлдэг.

Өндөр чийгшил нь цэвэр өрөөний гадаргуу дээрх цахилгаан статик цэнэгийн хуримтлалыг бууруулдаг бөгөөд энэ нь хүссэн үр дүн юм. Бага чийгшил нь цэнэг хуримтлуулахад тохиромжтой бөгөөд цахилгаан гүйдэл үүсгэдэг. Харьцангуй чийгшил 50% -иас хэтрэх үед цахилгаан статик цэнэгүүд хурдан сарниж эхэлдэг боловч харьцангуй чийгшил 30% -иас бага үед тусгаарлагч эсвэл газардуулгагүй гадаргуу дээр удаан хугацаагаар үлддэг.

Харьцангуй чийгшлийг 35% -аас 40% -ийн хооронд хангалттай хэмнэлт болгон ашиглаж болох бөгөөд хагас дамжуулагч цэвэрхэн өрөөнүүд ерөнхийдөө цахилгаан статик цэнэгийн хуримтлалыг хязгаарлах нэмэлт хяналтыг ашигладаг.

Харьцангуй чийгшил нэмэгдэхийн хэрээр олон химийн урвалын хурд, түүний дотор зэврэлт үүсэх процесс нэмэгдэх болно. Цэвэр өрөөний эргэн тойронд агаарт ил гарсан бүх гадаргуу хурдан байдаг.